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對官員進行巡視，以監察其勤政廉政情況，其實早在4000多年前的父系氏族社會就有了。黃帝時，設置了實施監督的官員，其中一項任務就是對管轄的屬國行使監察權。夏商周時設有稱之為“方伯”的官吏，他“受命于王”，對稱臣納貢的異姓諸侯和分封的同姓諸侯進行監察。到了春秋戰國，各諸侯國為加強對地方官吏的掌控，巡視監察的內容不僅包括察舉查辦腐敗犯法行為，還將“不慈孝父母，不長弟于鄉里，驕躁淫暴，不用上令者”納入巡察之列。

秦始皇統一中國后，把廉政監察作為一項制度固定了下來，改以前的“方伯”巡視為中央派人巡視和郡級定人巡視，并稱之為監御史和監察史，從中央到地方組成了一個較為嚴密的獨立巡視系統。

漢代的監察巡視主要是沿襲秦朝，但把中央監察系統分為中央主管監察的御史府、主管行政兼理監察的丞相府和地方諸侯王國的監察室三級。西漢中期以后，巡視按級負責，巡視的官員職位變低，但權力越來越大，對貪贓枉法者可以舉奏彈劾，也可以直接拘捕。對能力突出、成績顯著的監察吏，皇帝不但提高其生活待遇，而且還不斷加官晉級以示獎勵。

兩晉南北朝時的晉武帝也十分重視廉政監察。公元268年，他特地詔令說：“郡國守相，三載一巡行屬縣，錄囚徒，理冤枉，詳察政刑得失，知百姓所患難苦。若長吏在官公廉，慮不及私，正色直節，不飾名譽者，及身行貪穢，諂黷求容，公節不立，而私門日富者，并謹察之……”這些措施，對于整頓吏治，打擊貪污違法起到了一定的作用。

到了唐朝，由于中央集權制度的高度發展，廉政監察制度也有了明顯的加強，監察機關內部的分工更加明確，對所監察的對象實行了歸口管理，成立了中央最高監察機關“御史臺”，專司監察之職，直接受皇帝控制，任務是“掌以刑法典章糾正百官之罪惡”，與其他重權機構平行。監察御史主要是“分察百僚，巡按郡縣，糾視刑獄”。宋代監察制度較之唐代有所變革，在突出廉政職能上還規定了監察官出巡制，要求諸路監司要定期巡按所轄州縣。

明朝的監察巡視制度逐步完善。朝廷派遣充任巡按者，代天子巡狩，權力更崇重。清初統治者接受了歷代封建政權的經驗教訓，深知以廉政為主要目的的監察對于維護封建政權的重要性，監察制度在明制的基礎上進一步發展。清順治時，為“察吏安民、澄清吏治”，建立了巡按制度，設立了巡道機構，以為“天子耳目之官、朝廷之心腹”，并給予相當高的地位和權力。清朝又明確規定了“巡察史”，每年都派都察院官員到各地巡視、監察。這一制度，對康乾盛世起到了很大的保障作用。